气体注入系统Dalex-100

气体注入系统GIS是FIB-SEM的基本配置之一，它在FIB-SEM中起到两种非常重要的作用，一种是材料沉积功能，一种是辅助刻蚀功能。 Dalex-100气体注入系统提供了截面和TEM样品制备时用于沉积保护的Pt、W和C，用于电路修补的Pt、W和SiO2 ，以及用于提高Si切割速率的XeF2。此外，它可以提供其它特殊前驱气体，用于某些材料的铣削或气体干法蚀刻。