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气体注入系统Dalex-100

发布时间:2026-04-19 来源:辉景科技


核心优势


设计紧凑,体积小巧,适配各类扫描电镜/聚焦离子束显微镜

微细气针,可将前驱气体准确传送至目标加工位置

可搭载三种不同类型气源,如金属(钨,铂), 绝缘体(氧化硅),蚀刻类气体(氟化氙)

工作气压可调,适用不同真空度的应用场景

可配置氮气,氧气等用于气路清洗,降低污染

用户界面友好,易于维护

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关键词: 气体 注入 系统 Dalex-100